Teledyne API470溶解臭氧分析儀(yí)（0-150mg/L）
470是先進的溶解臭氧測量模塊，爲半導體濕法處理和許多其他工業過程設計。它能夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L的溶解臭氧測量。470已完成預備(bèi)清潔，能夠滿足高純度半導體過程的需求，並(bìng)且可簡單的直接拼接進任何濕法處理的環流回路中， 很高支持150 SLPM的流量。
470型傳感器使用雙路取樣傳感技術，達到瞭(le)無與倫比的性能，且擺(bǎi)脫瞭(le)對參比液體測量的需求。
通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包裹的内部連接電纜。470傳感器能夠通過模拟或數字信号向濕法處理過程控制台遠程報(bào)告測(cè)量的濃度。
特點
現場(chǎng)檢測(cè)
在線且全流量監(jiān)測(cè)
直線(xiàn)通過(guò)的流型
無(wú)移動(dòng)部件
無(wú)消耗品
測(cè)量範圍 很高達(dá)150 mg/L
遠(yuǎn)程零點(diǎn)校準
高精度紫外吸收法
雙光道採(cǎi)樣感應技術(shù)
不需求日常維(wéi)護(hù)
半導(dǎo)體級(jí)别濕式材料
緊(jǐn)湊(còu)的特氟龍外殼
特氟龍7包裹的内部連接電(diàn)纜(lǎn)
規格
測(cè)量原理：紫外線吸收，雙光路樣品感測(cè)技術(shù)
紫外線(xiàn)光源：低壓汞燈(dēng)
測(cè)量單(dān)位：ppmw，毫克/升
量程：高達(dá)150 mg / L（150 ppmw）
精度：0.5 mg / L或讀(dú)數的1％（以較(jiào)大值爲準）
水流量： 很高150 SLPM
採(cǎi)樣端口：1英寸，3/4英寸，1/2英寸Flaretek接頭(tóu)
很大壓(yā)力：55磅/平方英寸
接觸(chù)材料：鐵氟龍，藍寶(bǎo)石，與半導體工藝兼容
外殼(ké) ：PTFE鐵氟龍(lóng)
尺寸：144 x 171 x 82毫米
維護：每24個(gè)月更換一次紫外線燈(dēng)。沒有其他預定的維護。
電(diàn)纜：鐵氟龍護(hù)套
電(diàn)源：+15伏直流
模拟量輸(shū)出：4至20 mA或0至5 VDC，出廠(chǎng)配置
數(shù)字量I / O：RS232或RS485，出廠(chǎng)配置
遠程較(jiào)零：通過(guò)DB15進行遠程零位校準
應用
液态溶解臭氧
半導(dǎo)體濕(shī)法清洗系統
超純(chún)水系統(tǒng)
制藥(yào)業(yè)
水處(chù)理
其他工業(yè)過(guò)程
